उत्पादने

MOCVD SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर

मूळ ठिकाण:	चीन
ब्रँड नाव:	सेमीक्सलॅब
नमूना क्रमांक:	एमएससीजीएस-०१
प्रमाणपत्र:	ISO9001
किमान मागणी प्रमाण:	1 संच
किंमत:	कस्टमाइज्ड कोटेशनसाठी संपर्क साधा
पॅकेजिंग तपशील:	मानक निर्यात पॅकेज
वितरण वेळ:	ऑर्डर कन्फर्मेशननंतर ३५-४० दिवसांनी
देयक अटी:	टी / तिलकरत्ने
पुरवठा क्षमता:	1000 संच/महिना

चौकशीची

वर्णन

MOCVD ससेप्टर

१. आयुष्य ३००%+ ने वाढले

बफर लेयर तंत्रज्ञानामुळे थर्मल शॉक सायकलची संख्या ५,००० पेक्षा जास्त पट (पारंपारिक उत्पादनांसाठी १,५०० पेक्षा कमी पट) शक्य होते.

सतत कार्यरत तापमान १६५०°C पर्यंत पोहोचू शकते आणि कोटिंगमध्ये कोणतेही भेगा किंवा सोलणे दिसत नाही.

२. शून्य प्रदूषण हमी

SiC कोटिंगची शुद्धता 6N ग्रेड आहे (धातूच्या अशुद्धतेचे एकूण प्रमाण 0.5ppm पेक्षा कमी आहे).

SEMI मानक कण सोडण्याची चाचणी (इयत्ता १० वी स्वच्छता) उत्तीर्ण झाली.

३. थर्मल फील्ड एकरूपता अपग्रेड

बेस पृष्ठभागावरील तापमानातील फरक ±2°C पेक्षा कमी आहे (Φ300mm स्पेसिफिकेशनसाठी मोजलेला डेटा).

थर्मल डिफॉर्मेशनशिवाय जलद गरम होण्यास (२०°C/s) समर्थन देते.

4. उत्कृष्ट गंज प्रतिकार

H2, NH3 आणि TMAl सारख्या वायूंमुळे होणाऱ्या गंजांना प्रतिरोधक, १८ महिन्यांपेक्षा जास्त काळ सेवा आयुष्यासह.

पृष्ठभागाच्या खडबडीतपणाचा बदल दर ५% पेक्षा कमी आहे (१०० प्रक्रिया चक्रांनंतर चाचणी केली जाते).

५. जगभरातील मुख्य प्रवाहातील मॉडेल्सशी सुसंगत

५० ते ५०० मिमी व्यासांमध्ये कस्टमायझेशनला समर्थन देते.

६. पूर्ण जीवनचक्र खर्च ऑप्टिमायझेशन

देखभाल चक्र नियमित उत्पादनांपेक्षा तिप्पट वाढविण्यात आले आहे.

एपिटॅक्सियल वेफर्सच्या उत्पन्न दरात २-३% वाढ झाली आहे.

एक्सट्रॉन प्लॅनेटरी ससेप्टर

कंपनीची ताकद

सेमिक्सलॅब टेक्नॉलॉजी कंपनी लिमिटेडकडे २ संशोधन आणि विकास केंद्रे, २ उत्पादन तळ, १२ उत्पादन लाइन, १५०+ कर्मचारी आहेत आणि संशोधन आणि विकास गुंतवणूक ३०% पेक्षा जास्त आहे. आमचे उत्पादन लेआउट प्रामुख्याने एलईडी, आयसी इंटिग्रेटेड सर्किट, थर्ड जनरेशन सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक आणि इतर उद्योगांमध्ये वापरले जाते. सेमिक्सलॅबमध्ये मजबूत संशोधन आणि विकास, उत्पादन आणि एकात्मिक चाचणी आणि पडताळणी क्षमता आहेत. त्याच वेळी, आम्ही दरवर्षी लाखो गुंतवणुकीसह आमचे तंत्रज्ञान आणि उपकरणे सतत सुधारत आहोत.

वैशिष्ट्य

प्रमुख कामगिरी मापदंड

प्रकल्पाचे पॅरामीटर्स

बेस मटेरियल SGL आयसोस्टॅटिक प्रेस्ड ग्रेफाइट आहे.

कोटिंग जाडी: 80-200μm (सानुकूल करण्यायोग्य)

कोटिंगची शुद्धता ≥९९.९९९९% आहे

घनता: 1.85-1.90 g/cm³

औष्णिक चालकता: १२५ W/m·K (RT)

लवचिक शक्ती ≥४५ MPa

ऑपरेटिंग तापमान ≤१८००°C (जड वातावरण)

गुणवत्ता हमी प्रणाली

पूर्ण-प्रक्रिया शोधण्यायोग्यता: ग्रेफाइट सब्सट्रेटपासून कोटिंग प्रक्रियेपर्यंत संपूर्ण डेटा रेकॉर्डिंग.

अचूकता शोध: SEM/EDS कोटिंग विश्लेषण, हेलियम मास स्पेक्ट्रोमेट्री गळती शोधणे, उच्च-तापमान थर्मल शॉक चाचणी.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) अभिमुखता
घनता	3.21g/cm³
कडकपणा	२५०० विकर्स कडकपणा (५०० ग्रॅम भार)
धान्य आकार	2 ~ 10μ मी
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	६४० ज्यू किलोग्रॅम^-1·K^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700 ℃
लवचिक सामर्थ्य	४१५ एमपीए आरटी ४-पॉइंट
यंगचे मापांक	४३० Gpa ४pt बेंड, १३००℃
औष्मिक प्रवाहकता	300W·m^-1·K^-1
थर्मल एक्सपेंशन (CTE)	4.5 × 10^-6K^-1