सच्छिद्र ग्रेफाइट

सच्छिद्र ग्रेफाइट प्रामुख्याने पीव्हीटी (भौतिक वाष्प हस्तांतरण) सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियेत वापरला जातो, जो उच्च तापमान थर्मल फील्ड सिस्टमचा मुख्य मटेरियल आहे. हे उत्पादन अल्ट्रा-हाय प्युरिटी आयसोस्टॅटिकली प्रेस्ड ग्रेफाइटपासून बनलेले आहे, जे अचूक सीएनसी मशीनिंग आणि पोर कंट्रोल तंत्रज्ञानाद्वारे एकसमान आणि नियंत्रित करण्यायोग्य सच्छिद्र रचना बनवते, ज्यामुळे अत्यंत प्रक्रिया परिस्थितीत (2200℃) उत्कृष्ट कामगिरी सुनिश्चित होते. त्याची अद्वितीय रचना थर्मल फील्ड एकरूपता लक्षणीयरीत्या सुधारते आणि गॅस फेज ट्रान्सफर कार्यक्षमता ऑप्टिमाइझ करते, जी उच्च-गुणवत्तेच्या SiC क्रिस्टल वाढीसाठी एक प्रमुख हमी आहे.

मुख्य वैशिष्ट्ये आणि प्रक्रियेचे फायदे:

अत्यंत शुद्धता आणि कमी दोष दर

व्हॅक्यूम उच्च-तापमान शुद्धीकरण प्रक्रिया (3000℃ उपचार) ऑक्सिजन आणि नायट्रोजन सारख्या धातू नसलेल्या अशुद्धतेचे प्रमाण आणखी कमी करण्यासाठी वापरली जाते. SiC सिंगल क्रिस्टल्सची विद्युत कार्यक्षमता सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी अशुद्धता प्रेरित क्रिस्टल दोष (जसे की मायक्रोट्यूब्यूल्स, डिस्लोकेशन) दूर करा.

अति उच्च तापमान स्थिरता आणि थर्मल फील्ड नियंत्रण

आर्गॉन/व्हॅक्यूम वातावरणात, ते १००० तासांपेक्षा जास्त काळ २२००℃ सतत ऑपरेशन सहन करू शकते, थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक आणि थर्मल ताणामुळे होणारे मटेरियल क्रॅकिंग टाळू शकते.

पोरोसिटी ग्रेडियंट डिस्ट्रिब्यूशन डिझाइनला समर्थन देते, सीएफडी सिम्युलेशनसह एकत्रितपणे छिद्र आकार (१०-२००μm) ऑप्टिमाइझ करते, थर्मल फील्ड डिस्ट्रिब्यूशनचे अचूक नियमन करते, तापमान ग्रेडियंट चढउतार कमी करते (±३℃ च्या आत), आणि क्रिस्टल वाढीची एकरूपता सुधारते.

सानुकूलित निराकरण

भौमितिक अनुकूलन: ग्राहकांच्या भट्टीच्या संरचनेशी जुळणारे जटिल आकार प्रक्रिया (जसे की कंकणाकृती क्रूसिबल, बहु-स्तरीय ढाल) समर्थित करा.

पृष्ठभाग उपचार: गंज प्रतिकार आणि सेवा आयुष्य वाढविण्यासाठी अल्ट्रा-प्रिसिजन पॉलिशिंग किंवा कोटिंग सेवा प्रदान करा.

अर्ज कामगिरी पडताळणी

PVT SiC क्रिस्टलायझेशन प्रक्रियेत, क्रूसिबल आणि थर्मल फील्ड घटक म्हणून:

पारंपारिक ग्रेफाइटच्या तुलनेत क्रिस्टल वाढीचा दर १५%-२०% ने वाढवा;

वेफर उत्पन्न ९०% पेक्षा जास्त वाढले (४ इंच SiC सिंगल क्रिस्टल);

उपकरणांचा देखभाल कालावधी 6 महिन्यांपर्यंत (नेहमीचा 3 महिने) वाढवला जातो.

जलद तपशील:

१. इतर नावे: पीव्हीटी ग्रेफाइट क्रूसिबल, सच्छिद्र ग्रेफाइटसह सिलिकॉन कार्बाइड वाढ.

२. अर्ज: पीव्हीटी पद्धत (भौतिक वायू वाहतूक पद्धत) एसआयसी सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ कोर थर्मल फील्ड घटक.

३. मुख्य पॅरामीटर्स: शुद्धता ≥९९.९९९५%, सच्छिद्रता १५-३०%, तापमान प्रतिरोध २२००℃ (जड वायू वातावरण), थर्मल चालकता १००-१५० W/m·K.

पीव्हीटी ग्रोथ फर्नेस असेंब्ली: एसआयसी मटेरियल सबलिमेशन आणि क्रिस्टल ग्रोथचा भाग म्हणून, स्थिर थर्मल फील्ड वितरण प्रदान करते.

थर्मल फील्ड शिल्डिंग घटक: सच्छिद्र रचना प्रभावीपणे थर्मल ताण कमी करते आणि उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवते.

सीड क्रिस्टल ब्रॅकेट: सीड क्रिस्टलला आधार देण्यासाठी, क्रिस्टलची दिशात्मक वाढ सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च यांत्रिक शक्ती.

गॅस डिफ्यूजन लेयर: गॅस फेज ट्रान्सफर कार्यक्षमता ऑप्टिमाइझ करा, सिंगल क्रिस्टल गुणवत्ता आणि वाढीचा दर सुधारा.

अति-उच्च तापमान कामगिरी: २२००℃ वर कोणतेही मऊ विकृतीकरण नाही, १००० तासांपेक्षा जास्त सतत स्थिर ऑपरेशनला समर्थन देते.

कस्टम थर्मल फील्ड डिझाइन: सीएफडी सिम्युलेशनसह एकत्रितपणे छिद्र ग्रेडियंट ऑप्टिमाइझ करणे, क्रिस्टल एकरूपता आणि उत्पन्न सुधारणे.

जलद पुनरावृत्ती सेवा: प्रक्रिया पॅरामीटर जुळणारी चाचणी प्रदान करा आणि ७२ तासांच्या आत प्रोटोटाइप सोल्यूशन वितरित करा.