क्वार्ट्ज भाग

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये क्वार्ट्झचा वापर अजूनही सर्वत्र होतो. ते नवीन नाही, पण ते विश्वसनीय आहे आणि बहुतेक फॅब्सना त्याच्या कार्यपद्धतीची माहिती असते. जोपर्यंत शुद्धता नियंत्रित ठेवली जाते, तोपर्यंत ते डिफ्यूजन, ऑक्सिडेशन आणि क्लीनिंग या टप्प्यांमध्ये चांगले काम करते.

क्वार्ट्झचे बरेच भाग फर्नेस सिस्टीम किंवा पीईसीव्हीडी (PECVD) साधनांमध्ये वापरले जातात. मुख्य अपेक्षा स्थिरतेची असते — दीर्घायुष्याची नव्हे, तर अपेक्षित कामगिरीची. अनेक मानक प्रक्रियांसाठी हे सहसा पुरेसे असते.

अर्थात, क्वार्ट्झच्याही काही मर्यादा आहेत. विशिष्ट परिस्थितीत, विशेषतः एसआयसीच्या (SiC) तुलनेत, ते अधिक वेगाने झिजू शकते. परंतु ते सहज उपलब्ध होत असल्यामुळे आणि फार महाग नसल्यामुळे, लोक अजूनही त्याचा मोठ्या प्रमाणावर वापर करतात.