कडक ग्रेफाइट वाटले

सेमिक्सलॅब रिजिड ग्रेफाइट फेल्ट (RGF) हे SiC सिंगल क्रिस्टल्सच्या भौतिक वाष्प वाहतूक (PVT) वाढीसाठी एक महत्त्वाचा उच्च-तापमान इन्सुलेशन आणि थर्मल व्यवस्थापन घटक म्हणून तयार केले आहे. पुढील पिढीतील 4H- आणि 6H-SiC वेफर उत्पादनात वापरण्यासाठी डिझाइन केलेले, हे कठोर फेल्ट अल्ट्रा-लो थर्मल चालकता, उच्च संरचनात्मक अखंडता आणि अपवादात्मक रासायनिक शुद्धता यांचे संयोजन करते, ज्यामुळे ते उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC सबलिमेशन फर्नेसमध्ये एक कोनशिला सामग्री बनते. त्याचा वापर दीर्घ-कालावधीच्या उत्पादन चक्रांमध्ये थर्मल ग्रेडियंट्सचे अचूक नियंत्रण, स्थिर वाढीची परिस्थिती आणि वर्धित क्रिस्टल गुणवत्ता सुनिश्चित करतो.

SiC PVT प्रक्रियेत, दोषमुक्त सिंगल क्रिस्टल्स साध्य करण्यासाठी सुसंगत आणि एकसमान थर्मल फील्ड राखणे अत्यंत महत्त्वाचे आहे. ग्रेफाइट रिजिड फेल्ट हे सबलिमेशन क्रूसिबल आणि थर्मल फील्ड स्ट्रक्चर्सभोवती प्राथमिक फर्नेस इन्सुलेशन म्हणून काम करते. त्याची कमी थर्मल चालकता अवांछित उष्णता कमी करते, SiC स्रोत आणि सीड क्रिस्टलमधील लक्ष्य तापमान ग्रेडियंट राखते. रेडियल आणि अक्षीय तापमान प्रोफाइल नियंत्रित करून, RGF बेसल प्लेन डिस्लोकेशन, स्टॅकिंग फॉल्ट आणि मायक्रोपाइप्सची निर्मिती कमी करते, ज्यामुळे परिणामी SiC वेफर्सच्या स्ट्रक्चरल अखंडतेवर आणि इलेक्ट्रॉनिक कामगिरीवर थेट परिणाम होतो.

त्याच्या थर्मल इन्सुलेशन क्षमतेव्यतिरिक्त, सेमिक्सलॅबच्या ग्रेफाइट फेल्टची कठोर रचना २०००°C पेक्षा जास्त तापमानाच्या वातावरणात यांत्रिक स्थिरता प्रदान करते. लवचिक किंवा मऊ फेल्टच्या विपरीत, RGF दीर्घकाळापर्यंत थर्मल सायकलिंगमध्ये त्याचा आकार राखतो, ज्यामुळे थर्मल फील्डला त्रास होऊ शकतो किंवा भट्टीच्या आयुष्यमानात तडजोड होऊ शकते अशा कोसळणे किंवा विकृती टाळता येते. त्याची रासायनिक जडत्व कमीत कमी कण सोडण्याची खात्री देते आणि SiC बाउलचे दूषित होणे टाळते, जे पॉवर इलेक्ट्रॉनिक्स आणि वाइड-बँडगॅप डिव्हाइस अनुप्रयोगांसाठी उच्च-प्रतिरोधकता सब्सट्रेट्स तयार करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

उच्च-शुद्धता ग्राफिक कार्बन आणि प्रगत घनता तंत्रांचा वापर करून उत्पादित, सेमिक्सलॅब ग्रेफाइट रिजिड फेल्ट एकसमान घनता, उत्कृष्ट मितीय स्थिरता आणि दीर्घकालीन टिकाऊपणा प्रदर्शित करते. थर्मल कामगिरी आणि यांत्रिक कडकपणा यांचे संयोजन सेमीकंडक्टर फॅब्सना पीव्हीटी सिस्टममध्ये सातत्यपूर्ण वाढ दर, पुनरुत्पादनयोग्य तापमान प्रोफाइल आणि कमी डाउनटाइम प्राप्त करण्यास सक्षम करते. फर्नेस थर्मल कार्यक्षमता ऑप्टिमाइझ करून, आरजीएफ वेफर एकरूपता आणि उत्पन्न वाढवताना ऊर्जा बचतीत देखील योगदान देते.

सेमिक्सलॅबचे रिजिड ग्रेफाइट फेल्ट उच्च-गुणवत्तेच्या SiC सिंगल क्रिस्टल वाढीस समर्थन देण्यासाठी आवश्यक असलेली कार्यक्षमता, शुद्धता आणि संरचनात्मक स्थिरता प्रदान करते, ज्यामुळे उत्पादकांना पुढील पिढीच्या वेफर उत्पादनासाठी एक मजबूत मटेरियल सोल्यूशन, विस्तारित फर्नेस लाइफ आणि अत्यंत उच्च-तापमान वातावरणात उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापन प्रदान होते.