सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) कोटिंग

CVD SiC कोटिंग म्हणजे मुळात ग्रॅफाइटवर जमा केलेला सिलिकॉन कार्बाइडचा थर असतो, आणि त्याचा वापर एपिटॅक्सी साधनांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो, जिथे तापमान आणि स्वच्छता दोन्ही महत्त्वाचे असतात. प्रत्यक्ष उत्पादन लाइन्समध्ये, तुम्हाला ते अनेकदा AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, तसेच काही AMAT-संबंधित प्लॅटफॉर्मच्या प्रणालींमध्ये दिसेल. त्याची उपयुक्तता केवळ त्याच्या तापमान-प्रतिरोधकतेमुळे नाही, तर दीर्घकाळ चालणाऱ्या प्रक्रियांमधील त्याच्या एकूण स्थिरतेमुळे आहे. सामान्य एपिटॅक्सी परिस्थितीत — हायड्रोजन, अमोनिया किंवा क्लोरीनयुक्त वायूंच्या उपस्थितीतही — हे कोटिंग तुलनेने स्थिर राहते आणि त्याखालील ग्रॅफाइटचे संरक्षण करते. त्यामुळे थर्मल फील्ड अधिक सुसंगत राहण्यास मदत होते आणि ग्रोथ दरम्यान कण दिसण्याची शक्यता कमी होते.

बहुतांश वेळा, ससेप्टर्स, वेफर कॅरियर्स, ग्राफाइट रिंग्स किंवा हाफ-मून कंपोनंट्ससारख्या भागांवर कोटिंग लावले जाते. हे सर्व भाग वेफर गरम करणे किंवा योग्य स्थितीत आणण्याच्या प्रक्रियेत थेट सहभागी असतात, त्यामुळे कोणतीही लहानशी अस्थिरता उत्पादनावर परिणाम करू शकते. याच कारणामुळे, कोटिंग केलेल्या भागांना अनेकदा उपभोग्य वस्तू मानले जाते, ज्या अनेक चक्रांमध्ये विश्वसनीय असणे आवश्यक असते, विशेषतः ४ ते १२ इंच उत्पादनामध्ये.