उत्पादने

एलईडी एपिटॅक्सी ससेप्टर

सेमिक्सलॅब SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हा एक अचूक-इंजिनिअर केलेला घटक आहे जो प्रगत LED एपिटॅक्सी आणि MOCVD सिस्टीमसाठी डिझाइन केलेला आहे. उच्च-घनतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट सब्सट्रेटसह बनवलेला आणि उच्च-शुद्धता CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंगद्वारे संरक्षित, हा ससेप्टर 1100°C पेक्षा जास्त तापमानाच्या अत्यंत प्रक्रिया परिस्थितीत एकसमान वेफर हीटिंग आणि दीर्घकालीन चेंबर स्वच्छतेसाठी एक स्थिर थर्मल प्लॅटफॉर्म प्रदान करतो. प्रत्येक ससेप्टर Ra 0.2 μm पेक्षा कमी पृष्ठभागाची खडबडीतपणा प्राप्त करण्यासाठी अचूक मशीनिंग आणि कोटिंग एकसमानता नियंत्रणातून जातो, ज्यामुळे MOCVD रिअॅक्टरमध्ये कण आसंजन आणि गॅस टर्ब्युलन्स कमी होतो. ही रचना एपिटॅक्सियल लेयर एकसमानता वाढवते, घटकांचे आयुष्य वाढवते आणि देखभाल वारंवारता कमी करते. आम्ही तुमच्या पुढील चौकशीची वाट पाहत आहोत.

चौकशीची

वर्णन

एलईडी एपिटॅक्सीसाठी सेमिक्सलॅब एसआयसी कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरमध्ये थर्मल स्थिरतेसाठी उच्च-घनतेचा ग्रेफाइट बेस आणि गंज प्रतिकारासाठी दाट सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग (रा ≤0.2 μm) आहे. ही रचना एलईडी एमओसीव्हीडी एपिटॅक्सीमध्ये एकसमान उष्णता हस्तांतरण, रासायनिक जडत्व आणि दीर्घकालीन विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

LED एपिटॅक्सी प्रक्रियेत, SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर केवळ यांत्रिक वेफर होल्डर म्हणून काम करत नाही, तर MOCVD सिस्टमचा मुख्य थर्मल आणि रासायनिक नियंत्रण घटक म्हणून काम करतो. ते RF किंवा प्रतिरोधक हीटिंग मॉड्यूलमधून इनपुट थर्मल एनर्जीचे अनेक वेफर पोझिशन्समध्ये अचूकपणे वितरित आणि स्थिर तापमान क्षेत्रात रूपांतर करण्यासाठी जबाबदार आहे. ससेप्टरची उच्च थर्मल चालकता आणि ऑप्टिमाइझ केलेले उत्सर्जन प्रोफाइल सातत्यपूर्ण वेफर-टू-वेफर आणि इंट्रा-वेफर तापमान एकरूपता सुनिश्चित करते - GaN आणि AlGaInP फिल्म जाडी, डोपंट एकाग्रता आणि क्रिस्टल गुणवत्तेवर कडक नियंत्रण मिळविण्यासाठी एक आवश्यक अट.

त्याच वेळी, SiC कोटिंग एक मजबूत रासायनिक अडथळा प्रदान करते जे हायड्रोजन कपात, अमोनिया गंज आणि धातू-सेंद्रिय पूर्वसूचक प्रतिक्रियांपासून अंतर्निहित ग्रेफाइटचे संरक्षण करते. हे संरक्षण केवळ ससेप्टरचे आयुष्य वाढवत नाही तर वाढत्या एपिटॅक्सियल थरांना दूषित करू शकणार्‍या किंवा तयार एलईडी चिप्समध्ये चमकदार कार्यक्षमता कमी करू शकणार्‍या कार्बन प्रजातींचे प्रकाशन रोखते. परिणामी एक स्वच्छ प्रतिक्रिया वातावरण, कमी देखभाल वारंवारता आणि सुधारित दीर्घकालीन प्रक्रिया स्थिरता मिळते.

शिवाय, ससेप्टरची पृष्ठभागाची अचूकता आणि भौमितिक एकरूपता MOCVD चेंबरमध्ये सुसंगत वायू प्रवाह आणि पूर्ववर्ती वितरण राखण्यात निर्णायक भूमिका बजावते. समतलता किंवा कोटिंग टेक्सचरमधील सूक्ष्म विचलनांमुळे देखील सीमा थरातील फरक आणि स्थानिकीकृत फिल्म जाडीची एकरूपता होऊ शकते. सेमिक्सलॅबच्या मालकीच्या कोटिंग आणि पृष्ठभागाच्या फिनिशिंग तंत्रज्ञानाचा वापर करून, प्रत्येक ससेप्टर अपवादात्मक सपाटपणा आणि सममिती प्राप्त करतो, एकसमान वायू गतिमानता, इष्टतम प्रतिक्रिया गतिमानता आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य एपिटॅक्सियल फिल्म वैशिष्ट्ये सुनिश्चित करतो.

थोडक्यात, सेमिक्सलॅब SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर थर्मल स्टॅबिलायझर आणि कॉन्टॅमिनेशन शील्ड म्हणून काम करतो, जो LED उत्पादन आणि मटेरियल गुणवत्तेवर थेट परिणाम करतो. त्याची प्रगत स्ट्रक्चरल डिझाइन आणि कोटिंग तंत्रज्ञान सेमीकंडक्टर उत्पादकांना आधुनिक MOCVD उत्पादन लाइनमध्ये उच्च उत्पादकता, सुधारित प्रक्रिया पुनरुत्पादनक्षमता आणि मालकीचा एकूण खर्च कमी करण्यास सक्षम करते.