उच्च-शुद्धता पीईसीव्हीडी ग्राफाइट बोटी

उत्पादन विहंगावलोकन

PECVD ग्रॅफाइट बोट्सचा वापर सौर सेल उत्पादन लाइन्समध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो, जिथे सिलिकॉन वेफर्सना वारंवार प्लाझ्मा कोटिंग आणि पॅसिव्हेशन प्रक्रियेतून जावे लागते. लोडिंग, ट्रान्सफर आणि डिपॉझिशन दरम्यान ग्रॅफाइट कॅरिअरचा वेफर्सशी थेट संपर्क येत असल्यामुळे, त्याच्या स्थिरतेचा दूषण नियंत्रण आणि ऑटोमेशनच्या विश्वसनीयतेवर मोठा प्रभाव पडतो.

सेमिक्सलॅब ग्रॅफाइट बोटी कमी राखेचे प्रमाण आणि स्थिर घनता वितरण असलेल्या शुद्ध ग्रॅफाइट सामग्रीपासून प्रक्रिया करून बनवल्या जातात. ही रचना अखंड उत्पादन लाइनमध्ये आढळणाऱ्या व्यावहारिक कार्य परिस्थितीनुसार तयार केली आहे, विशेषतः जिथे तापमानातील जलद बदल आणि उच्च-वारंवारतेची रोबोटिक हाताळणी सामान्य आहे.

प्रत्यक्ष वापरात, अनेक कारखाने केवळ शुद्धतेकडेच नव्हे, तर दीर्घ उत्पादन चक्रानंतर होणाऱ्या विरूपणाकडेही लक्ष देतात. खूप लवकर वाकणाऱ्या किंवा आकार बदलणाऱ्या वाहकामुळे हस्तांतरणाच्या समस्या, वेफरवर ओरखडे येणे किंवा लोडिंगची स्थिती अस्थिर होणे यांसारख्या समस्या सहजपणे उद्भवू शकतात. हे धोके कमी करण्यासाठी, ग्राफाइट बोट्सची रचना तुलनेने कमी औष्णिक प्रसरण वैशिष्ट्ये आणि सुधारित यांत्रिक सुसंगततेसह केली जाते.

ग्राहकांच्या उपकरणांच्या गरजेनुसार विविध वेफर आकार आणि ऑटोमेशन कॉन्फिगरेशनला देखील समर्थन दिले जाऊ शकते. हे उत्पादन सामान्यतः TOPCon, HJT, PERC आणि संबंधित PECVD उत्पादन वातावरणांमध्ये वापरले जाते.

महत्वाची वैशिष्टे

20ppm पेक्षा कमी राख असलेले शुद्ध ग्रॅफाइट मटेरियल.

वारंवार होणाऱ्या तापविण्याच्या आणि थंड होण्याच्या चक्रातही स्थिर रचना.

पारंपरिक ग्रॅफाइट वाहकांच्या तुलनेत कमी औष्णिक प्रसरण.

स्वयंचलित वेफर लोडिंग प्रणालींसाठी उपयुक्त.

दीर्घकालीन प्लाझ्मा प्रक्रिया संचालनादरम्यान विकृती कमी होते.

M10 आणि M12 वेफर उत्पादन प्लॅटफॉर्मशी सुसंगत.

मशीनने तयार केलेली स्लॉट रचना हस्तांतरणाची स्थिरता सुधारण्यास मदत करते.

सानुकूलित आकारमान आणि पिच स्पेसिंगसाठी उपलब्ध.

उत्पादन आणि सामग्री नोंदी

या वाहक प्रणालींसाठी वापरण्यात येणाऱ्या ग्रॅफाइट सामग्रीची निवड ग्राहकाच्या प्रक्रियेची स्थिती आणि अपेक्षित सेवा चक्रानुसार केली जाऊ शकते. वापराच्या वातावरणानुसार, आयातित ग्रॅफाइट ग्रेड किंवा देशांतर्गत शुद्ध केलेली सामग्री या दोन्हींचा विचार केला जाऊ शकतो.

सेमिक्सलॅब विविध ऑटोमेशन प्लॅटफॉर्मवर आधारित मशीनिंग समायोजनास देखील समर्थन देते, ज्यामध्ये स्लॉट स्पेसिंग, गाइड स्ट्रक्चर, लोडिंग ओरिएंटेशन आणि असेंब्ली कॉन्फिगरेशन यांचा समावेश आहे. मोठ्या प्रमाणावरील उत्पादनापूर्वी, सामान्यतः ग्राहकाच्या रेखाचित्रांनुसार किंवा नमुन्याच्या आवश्यकतेनुसार आयामी पडताळणी आणि प्रक्रिया मूल्यांकन केले जाते.

तांत्रिक तपशील